FFU空氣過（guò）濾器主要有以下幾點優（yōu）點：
1.節約空間（jiān）——利用FFU風機過濾（lǜ）單元可（kě）以有效的節省空間，解決潔淨室吊頂頂（dǐng）端維修空間狹小的問題。
由於（yú）高級別的潔淨廠（chǎng）房需要百級甚（shèn）至十（shí）級層流罩來解決（jué）工藝需求，潔淨室的吊頂的上部將設立一個（gè）個巨大的送風靜壓箱（xiāng），靜壓箱內設立通風機，這些靜壓箱連同送風管（guǎn）、回風管從而（ér）會占據很大（dà）的空間，使得維（wéi）修空間變得（dé）狹小，有時甚至影響消防通道的使用。
當我們使用FFU時，潔淨室的吊頂（dǐng）將會被分為若幹模塊，每個模塊就是一個FFU，這樣我們可以通過調節每個模塊來滿足吊頂（dǐng）上部送風靜壓箱的壓力平衡的要求，從而（ér）大（dà）大降低了對該靜壓箱高度的要求。同（tóng）時可以省（shěng）去巨大的送（sòng）風管、回風管，所（suǒ）以可以節省安裝空間。特別是在改造工程受到層高（gāo）限製時，FFU可以有效（xiào）的（de）解決這一（yī）問題。
而且FFU尺寸多樣，可根據潔淨室（shì）的實際大小來定製，且正（zhèng）因為這個原（yuán）因，其占用送風靜壓箱內較少的層高，甚至基本上不占用潔淨室內空間（jiān），所以能夠更好（hǎo）地節省空間。
2.FFU靈活性——利用FFU獨立性的結構特點，可隨時調整，彌補潔（jié）淨室機動性能不足，從而解決了生產工藝不宜調整的缺點。
潔淨室廠房的（de）維護結構一般為（wéi）金（jīn）屬性板製作（zuò），一般建成（chéng）後，布（bù）局不能隨意改（gǎi）動，但由於生（shēng）產（chǎn）工藝（yì）的不斷更新，使得原有的廠房潔淨度布局不能滿足新工藝的需求，導致（zhì）潔淨室由於產品換（huàn）代需要頻繁的改動，大量浪費財力、物（wù）力。
如果通過增減（jiǎn）FFU數量的方法，就可以局部調整房間的潔淨度布局，用以滿足工藝的改動，而且FFU自帶動力、風口、燈具，從而可以節省大量的投資。這對於通常集中送風的淨化係統來說幾乎是不可能達到同樣效（xiào）果的。
因為FFU是自帶動力的，它不受區域（yù）的限製。在一個偌大的潔淨廠房裏，可根據需要，分區控製。而且，隨著半導體生產工藝（yì）的變化，廠房（fáng）布局必然要作相應（yīng）調（diào）整，FFU的靈活（huó）性（xìng）使得這（zhè）樣（yàng）的調整變得輕鬆，而且不會帶來二次投資。
3.減少運行成本——FFU係統節能顯著，從而解（jiě）決了空調機房龐大（dà）、空調機組運行費用增高的集中送風的缺點。
如果（guǒ）麵積較（jiào）大的潔淨室廠房的個別潔淨間有較高（gāo）的潔淨級（jí）別的需求，那麽集中送（sòng）風的空調機組風量較大，風機壓頭（tóu）較高，才能克服風管管道（dào）的阻力以及初效過濾器，中效過濾（lǜ）器（qì），高效過濾器的阻力，才能滿足需求。而且集中送風係統（tǒng）隻要空調機（jī）出現故障（zhàng），就（jiù）會造成這台空調機（jī）所（suǒ）涉（shè）及（jí）的（de）全部潔淨室（shì）停止運行。
雖然在前期選用FFU時，初期投資要比使（shǐ）用風管通風高（gāo），但它（tā）在後期運行中，突出的表現出節能、免維護等特點，使得FFU更受歡迎。
4.負壓（yā）密封
這是FFU的獨特特點。由於它本身能夠（gòu）提供靜壓，使得送風靜壓箱相對於潔淨廠房負壓。因此即使風口安裝存在泄漏，也是潔淨室向靜（jìng）壓箱泄漏，不會形成（chéng）對潔（jié）淨室的汙染。使得密（mì）封變得很簡單而且安全。
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