潔淨等級
1963年,美國潔淨(jìng)室標準FED-STD-209中,按(àn)每立方英尺中≥0.5mm粉塵數量的*允許(xǔ)濃度,將潔(jié)淨室分(fèn)成若幹等級,如(rú)100級、10,000級、100,000級。世界上許多國(guó)家(jiā)都加以效仿。
1999年,國際標準化組織ISO頒布了一項國際(jì)標準《ISO14644-1潔淨室與受控潔淨環境》*部分:空氣潔淨度分級(jí)。標準中采用了新的分級。
2001年,中(zhōng)國新頒布(bù)的(de)潔淨室設計標(biāo)準(zhǔn)中采用了ISO分級(jí)。
電子工業(yè)和製藥業是與(yǔ)潔淨室關(guān)係*密切(qiē)的兩個行業。ISO標準一出現,電子行業立刻改用ISO標準定(dìng)義的潔淨室級別,而(ér)製(zhì)藥業目前仍沿用老的潔淨級別規定。中國1998年版GMP規範中比前一版增加了(le)個30萬級。